多功能小型真空等離子清洗機PLUTO-M

價格
¥58,000.00

型號
PLUTO-M

品牌
PLUTOVAC

所在地
上海市 浦東新區(qū)

更新時間
2024-03-05 15:33:46

瀏覽次數(shù)


    PLUTO-M 等離子體材料表面處理系統(tǒng)


    研究級 實驗室用 多功能桌面型




    經(jīng)過多年技術創(chuàng)新和積累,PLUTO-M創(chuàng)新性將真空式等離子體技術應用于各種不同領域的研究型操作平臺,除了實現(xiàn)常規(guī)清潔樣品和表面改性的功能外,通過添加不同的功能模塊,可以實現(xiàn)等離子體鍍膜,等離子體合成反應,等離子體純化等功能,極大的拓展該設備的應用領域。

    多功能小型真空等離子清洗機PLUTO-M



    污染物清洗

    清洗玻璃、金屬、陶瓷、塑料等材料表面的有機物及其他污染物


    表面活化

    利用等離子體轟擊樣品表面,改變樣品表面張力和活性


    鍍膜

    采用等離子斷鍵功能的裝置,將鍍膜材料以及納米級厚度均勻覆蓋樣品表面


    等離子體刻蝕

    對半導體材料、集成電路板、PCB板、塑料制品等材料進行刻蝕


    等離子體反應

    特別的工藝手段和裝置,可以實現(xiàn)等離子體與樣品的化學反應,并得到相應物質(zhì)


    粉體處理

    粉體裝置,可實現(xiàn)納米級顆粒的等離子體均勻處理,實現(xiàn)各項性能





    PLUTO-M等離子清洗機參數(shù)(標準配置)

    真空腔尺寸

    不銹鋼腔體,φ210mm*230mm

    電極尺寸

    多控自適應平板電極125*125mm

    等離子體發(fā)生器

    RF射頻發(fā)生器,頻率:13.56MHz;自適應阻抗匹配電源

    功率

    0-200W連續(xù)可調(diào),精度1W

    真空計

    熱電偶真空計 0-1000mT

    供氣

    1路氣體,6mm國標連接件(軟管)

    控制方式

    4.3寸觸摸屏,多級應用菜單,操控簡易快捷

    抽氣裝置

    飛躍 VRD-8,二級油泵8m3/h

    外部尺寸

    404*640*615mm

    純鋁腔體

    間距可調(diào)電極

    等離子體發(fā)生器

    RF 13.56MHz 300W/500W,自動阻抗匹配電源

    氣體收集裝置

    用于收集等離子體化學反應后的氣體

    小型氧氣發(fā)生器

    用于制備氧氣,可取代氧氣罐

    氣體混合裝置

    可根據(jù)客戶要求進行混氣設計

    加熱電極模塊

    電極可以加熱,室溫-200℃可調(diào)

    光譜儀模塊

    可增加光譜儀的接口,檢測等離子體光譜變化

    電極轉(zhuǎn)換模塊

    可自由變換電極設計,樣品可放在射頻電極上,也可以放在地電極上,從而實現(xiàn)不同的處理效果



    控制等離子濃度和方向

    通過轉(zhuǎn)換電極正負極和電極之間距,可控制等離子體濃度和反應方向


    加熱電極模塊

    溫度可控,可以加速等離子體處理速度和極大提高樣品處理的均勻性


    沉積鍍膜模塊,改變表面特性

    沉積CF材料,樣品表面可以具有憎水的特性

    沉積含苯材料,樣品表面起到絕緣防水的特性

    沉積含有羥基的材料,提高樣品表面和其他材料的結合效果


    化學反應

    氣體純化和使用等離子體與相關材料進行化學反應


    粉體處理裝置

    用于處理微納米級別顆粒


    感應耦合模塊

    感應耦合等離子體裝置



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