PLUTO-30 等離子清洗機/等離子表面處理系統(tǒng)
中小型 量產(chǎn)級 多功能
Pluto30等離子清洗機是專為研發(fā)而設計的全功能等離子體系統(tǒng),13.56MHz射頻發(fā)生器和自動匹配網(wǎng)絡電源在整個過程區(qū)域產(chǎn)生均勻的等離子體。Pluto 30的真空腔可支持多達7個可調(diào)節(jié)樣品架,以容納各種形狀尺寸的樣品。Pluto30具有多種電極設置,可配置成RIE和PECVD模式,從而擴大了該系統(tǒng)的應用范圍,提供給用戶*的靈活性。
Pluto30參數(shù) 腔體 腔體尺寸 300W x 280H x 366Dmm 容量 30L 電極數(shù)量 多達7層 電極 電極間隙 48mm 功率電極尺寸 226W x 210D mm 接地電極尺寸 260W x 210D mm 射頻系統(tǒng) 射頻功率和頻率 300W/13.56MHz 氣體控制 MFC控制器 標配1個MFC,可選配4個MFC控制器 系統(tǒng)控制 7寸工業(yè)觸控屏 全數(shù)字控制,實時顯示工作狀況,可設定操作權(quán)限和各種報警值,可儲存工藝方案 真空泵系統(tǒng) 油泵 32m3/h 功率 220V/10A,50Hz,單相,3線 尺寸 外形尺寸 706W x 804D x 735H mm 特別裝置 需求 工藝氣體 0.25英寸. 氣管快接.適用于 15-20psig; 凈化氣 0.25英寸. 氣管快接. 適用于10-100psig CDA 0.25英寸. 氣管快接. 適用于60-90psig 排氣接口 KF40 可選項 液體前驅(qū)體輸送系統(tǒng) 500W/13.56MHz射頻系統(tǒng) 37m3/h 干泵 排氣洗滌器 油霧消除器
Pluto30參數(shù)
腔體
腔體尺寸
300W x 280H x 366Dmm
容量
30L
電極數(shù)量
多達7層
電極
電極間隙
48mm
功率電極尺寸
226W x 210D mm
接地電極尺寸
260W x 210D mm
射頻系統(tǒng)
射頻功率和頻率
300W/13.56MHz
氣體控制
MFC控制器
標配1個MFC,可選配4個MFC控制器
系統(tǒng)控制
7寸工業(yè)觸控屏
全數(shù)字控制,實時顯示工作狀況,可設定操作權(quán)限和各種報警值,可儲存工藝方案
真空泵系統(tǒng)
油泵
32m3/h
功率
220V/10A,50Hz,單相,3線
尺寸
外形尺寸
706W x 804D x 735H mm
特別裝置
需求
工藝氣體
0.25英寸. 氣管快接.適用于 15-20psig;
凈化氣
0.25英寸. 氣管快接. 適用于10-100psig
CDA
0.25英寸. 氣管快接. 適用于60-90psig
排氣接口
KF40
可選項
液體前驅(qū)體輸送系統(tǒng)
500W/13.56MHz射頻系統(tǒng)
37m3/h 干泵
排氣洗滌器
油霧消除器
特征及優(yōu)勢
氣體輸送系統(tǒng),提供氣體分配均勻性和靈活的氣體分配方法
不同工藝模式(RIE、下游等離子體等)的柔性電極配置
的射頻系統(tǒng)提供*的工藝重復性和處理效率
全自動處理能力
圖形用戶界面支持配方編輯器、配方驅(qū)動流程并提供實時流程信息
臺式設計需要較小的占地面積
典型應用
表面活化
提高表面能量以提高材料粘合性:預壓模粘合;預焊線粘合
增強表面膠體流動性:預成型;預倒裝芯片下溢
表面粗糙度和蝕刻
降低表面應力,改善表面粘結(jié)性
灰化和表面清潔
Plasma等離子蝕刻(配備RIE配置)
電介質(zhì)/III-IV材料
納米涂層(配備液體前體輸送裝置)
防腐納米涂層:醫(yī)療器械,醫(yī)療植入物
其他推薦產(chǎn)品
首頁| 關于我們| 聯(lián)系我們| 友情鏈接| 廣告服務| 會員服務| 付款方式| 意見反饋| 法律聲明| 服務條款
PLUTO-30 等離子清洗機/等離子表面處理系統(tǒng)
中小型 量產(chǎn)級 多功能
Pluto30等離子清洗機是專為研發(fā)而設計的全功能等離子體系統(tǒng),13.56MHz射頻發(fā)生器和自動匹配網(wǎng)絡電源在整個過程區(qū)域產(chǎn)生均勻的等離子體。Pluto 30的真空腔可支持多達7個可調(diào)節(jié)樣品架,以容納各種形狀尺寸的樣品。Pluto30具有多種電極設置,可配置成RIE和PECVD模式,從而擴大了該系統(tǒng)的應用范圍,提供給用戶*的靈活性。
Pluto30參數(shù)
腔體
腔體尺寸
300W x 280H x 366Dmm
容量
30L
電極數(shù)量
多達7層
電極
電極間隙
48mm
功率電極尺寸
226W x 210D mm
接地電極尺寸
260W x 210D mm
射頻系統(tǒng)
射頻功率和頻率
300W/13.56MHz
氣體控制
MFC控制器
標配1個MFC,可選配4個MFC控制器
系統(tǒng)控制
7寸工業(yè)觸控屏
全數(shù)字控制,實時顯示工作狀況,可設定操作權(quán)限和各種報警值,可儲存工藝方案
真空泵系統(tǒng)
油泵
32m3/h
功率
220V/10A,50Hz,單相,3線
尺寸
外形尺寸
706W x 804D x 735H mm
特別裝置
需求
工藝氣體
0.25英寸. 氣管快接.適用于 15-20psig;
凈化氣
0.25英寸. 氣管快接. 適用于10-100psig
CDA
0.25英寸. 氣管快接. 適用于60-90psig
排氣接口
KF40
可選項
液體前驅(qū)體輸送系統(tǒng)
500W/13.56MHz射頻系統(tǒng)
37m3/h 干泵
排氣洗滌器
油霧消除器
特征及優(yōu)勢
氣體輸送系統(tǒng),提供氣體分配均勻性和靈活的氣體分配方法
不同工藝模式(RIE、下游等離子體等)的柔性電極配置
的射頻系統(tǒng)提供*的工藝重復性和處理效率
全自動處理能力
圖形用戶界面支持配方編輯器、配方驅(qū)動流程并提供實時流程信息
臺式設計需要較小的占地面積
典型應用
表面活化
提高表面能量以提高材料粘合性:預壓模粘合;預焊線粘合
增強表面膠體流動性:預成型;預倒裝芯片下溢
表面粗糙度和蝕刻
降低表面應力,改善表面粘結(jié)性
灰化和表面清潔
Plasma等離子蝕刻(配備RIE配置)
電介質(zhì)/III-IV材料
納米涂層(配備液體前體輸送裝置)
防腐納米涂層:醫(yī)療器械,醫(yī)療植入物
耐水納米涂層:印刷電路板表面處理