價(jià)格
電議
型號(hào)
WINETCH
品牌
PLUTOVAC
所在地
上海市 浦東新區(qū)
更新時(shí)間
2024-03-05 15:42:19
瀏覽次數(shù)
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WINETCH刻蝕系統(tǒng)通過電容耦合（CCP）方式產(chǎn)生高密度等離子體，按掩膜（例如光刻膠掩膜）圖形、實(shí)現(xiàn)對(duì)介質(zhì)材料（例如氧化硅SiO2、氮化硅SiNx等）的選擇性刻蝕。
CCP系統(tǒng)主要由以下幾部分組成：反應(yīng)腔室、下電 、噴淋頭（上電）、射頻電源、真空系統(tǒng)、預(yù)真空室、氣路系統(tǒng)、控制系統(tǒng)與軟件、配套附件等。
WINETCH等離子刻蝕機(jī)產(chǎn)品特點(diǎn)：
-刻蝕形貌好、工藝性能優(yōu)越
-高選擇比、高刻蝕速率
-低擁有成本和消耗成本
WINETCH等離子刻蝕機(jī)技術(shù)參數(shù)：
晶圓尺寸：6/8寸兼容
適用工藝：等離子體刻蝕
適用材料：SiO2，Si3N4，etc.
適用域:化合物半導(dǎo)體、MEMS、功率器件、科研等領(lǐng)域
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WINETCH是面向科研及企業(yè)研發(fā)客戶使用需求設(shè)計(jì)的高CCP等離子體系統(tǒng)。作為一個(gè)多功能系統(tǒng)，它通過優(yōu)化的系統(tǒng)設(shè)計(jì)與靈活的配置方案，獲得高性能CCP刻蝕工藝。該設(shè)備結(jié)構(gòu)緊湊占地面積小，業(yè)的機(jī)械設(shè)計(jì)與優(yōu)化的自動(dòng)化操作軟件使該設(shè)備操作簡(jiǎn)便、安全，且工藝穩(wěn)定重復(fù)性佳。