產品用途
復合分子泵機組是一臺清潔的高真空獲得設備。此設備是根據(jù)真空知識原理,利用機械泵、渦輪分子泵組合成的真空獲得系統(tǒng),具有啟動時間快、真空度高操作方便等特點,廣泛應用于真空測試技術、表面分析加速器技術、等離子體技術、電真空器件制造及真空的各個領域。設備的具體組成主要包括真空測量系統(tǒng)、真空室、閥門及真空管路、電器控制系統(tǒng)等。
技術參數(shù)
型號
KT-110F
KT-150YCF
控制方式
手動控制
手動人機界面控制
前級泵
雙極4旋片真空泵
前級泵抽氣速率
2.2 L/S(對真空環(huán)境要求潔凈的客戶可選配無油干泵)
前級泵極限壓強
≤ 5 Pa
分子泵
F-100/110,43000轉/分
FF-100/150,51000轉/分
分子泵抽氣速率
100 L/S
140 L/S
分子泵啟動時間
≤3 min
≤2 min
空載極限壓強
≤1 X 10-4 Pa
≤1X10-4 Pa
真空測量范圍
電阻單元1E +5到1E-1 Pa
電離單元5到1E-5Pa
冷陰極標準規(guī)管1E+2到1E-5 Pa
抽氣接口
KF25
閥門類型
KF25手動擋板閥
系統(tǒng)電源
AC 220V
系統(tǒng)功率
1.5 KW
環(huán)境溫度
5~32 ℃
冷卻方式
強制風冷卻
濕度
≤80%
噪音
<60分貝
外形尺寸
430×500×650mm
330×495×550mm
重量
65 kg
55 kg
隨機配件:KF25高真空擋板閥×1個,K25卡箍×3個,KF25-1.5米不銹鋼波紋管×1根說明書×1本,電源線×1根
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復合分子泵機組是一臺清潔的高真空獲得設備。此設備是根據(jù)真空知識原理,利用機械泵、渦輪分子泵組合成的真空獲得系統(tǒng),具有啟動時間快、真空度高操作方便等特點,廣泛應用于真空測試技術、表面分析加速器技術、等離子體技術、電真空器件制造及真空的各個領域。設備的具體組成主要包括真空測量系統(tǒng)、真空室、閥門及真空管路、電器控制系統(tǒng)等。
技術參數(shù)
型號
KT-110F
KT-150YCF
控制方式
手動控制
手動人機界面控制
前級泵
雙極4旋片真空泵
雙極4旋片真空泵
前級泵抽氣速率
2.2 L/S(對真空環(huán)境要求潔凈的客戶可選配無油干泵)
前級泵極限壓強
≤ 5 Pa
分子泵
F-100/110,43000轉/分
FF-100/150,51000轉/分
分子泵抽氣速率
100 L/S
140 L/S
分子泵啟動時間
≤3 min
≤2 min
空載極限壓強
≤1 X 10-4 Pa
≤1X10-4 Pa
真空測量范圍
電阻單元1E +5到1E-1 Pa
電離單元5到1E-5Pa
冷陰極標準規(guī)管1E+2到1E-5 Pa
抽氣接口
KF25
KF25
閥門類型
KF25手動擋板閥
KF25手動擋板閥
系統(tǒng)電源
AC 220V
AC 220V
系統(tǒng)功率
1.5 KW
1.5 KW
環(huán)境溫度
5~32 ℃
5~32 ℃
冷卻方式
強制風冷卻
強制風冷卻
濕度
≤80%
≤80%
噪音
<60分貝
<60分貝
外形尺寸
430×500×650mm
330×495×550mm
重量
65 kg
55 kg
隨機配件:KF25高真空擋板閥×1個,K25卡箍×3個,KF25-1.5米不銹鋼波紋管×1根說明書×1本,電源線×1根