日本SMC縫閥XGT223-46236-1F

XGT 系列 縫閥

對(duì)于半導(dǎo)體裝置等場合、適合于負(fù)載鎖定室和傳送室以及傳送室和過程室之間有門閥隔開的場合

閥尺寸 22 軸數(shù):2軸　波紋管;對(duì)應(yīng)晶片尺寸:200mm

閥體形式 3 盒式半屏蔽型

開口窗尺寸 46236 高X寬:46X236mm;對(duì)應(yīng)晶片尺寸:200mm

門O型圈材質(zhì) 1 FKM

磁性開關(guān)及插頭 F 磁性開關(guān):D-A93(帶2個(gè)開關(guān));插頭:帶D型輔助插頭(CDE-9PF05:廣瀨電機(jī)制)

NPQS-F-L-R12-Q12

NPQS-F-LH-R14-Q8

NPQS-F-L-R38-Q8

NPQS-F-L-R14-Q10

NPQS-F-L-R18-Q8

NPQS-F-L-Q10-E

NPQS-F-H-Q10-E

NPQS-F-H-Q8-E

快插接頭 QS-G1/2-12

快插接頭 QS-8-10

快插接頭 QS-3/8-6

氣源管 PUN-12*2 B

快插接頭 QS-G1/8-8

快插接頭 QS-3/8-8

快插接頭 QS-6

氣源管 PUN-10*1.5-BL

快插接頭 QS-1/2-10

快插接頭 QS-G1/2-12

快插接頭 QS-10-12

快插接頭 QS-G1/4-12

快插接頭 QS-3/8-10

快插接頭 QS-G1/4-10

快插接頭 QS-8

快插接頭 QS-6-8

快插接頭 QS-8-10

快插接頭 QS-3/8-12

快插接頭 QS-6-10

MU-N11

SL-V28H

FT-H10C