1. 光學(xué)原理

? 激光干涉法

? 利用激光的相干性。激光源發(fā)出的激光被分為參考光和測(cè)量光。測(cè)量光照射到被測(cè)物體表面，反射后與參考光發(fā)生干涉。如果物體表面是理想平面，干涉條紋是規(guī)則的；如果表面存在不平度，干涉條紋會(huì)發(fā)生彎曲、變形等變化。通過分析干涉條紋的形狀、間距和相位變化等，可以計(jì)算出表面的不平度。

? 光反射原理

? 儀器發(fā)出一束平行光（可以是普通光源或激光源）照射到被測(cè)表面。當(dāng)表面完全平直時(shí)，反射光沿特定方向返回并被接收裝置接收。如果表面有起伏，反射光的方向會(huì)發(fā)生改變，接收裝置檢測(cè)到反射光的角度、強(qiáng)度等變化，從而確定表面的不平度。例如，在一些基于三角測(cè)量原理的光反射式平直度測(cè)量?jī)x中，通過測(cè)量反射光與入射光之間的角度變化來計(jì)算高度差，進(jìn)而得出表面的平直度。

2. 機(jī)械接觸式原理

? 采用高精度的探頭與被測(cè)物體表面接觸。探頭沿著被測(cè)表面移動(dòng)，當(dāng)表面有高低不平之處時(shí)，探頭會(huì)產(chǎn)生上下位移。通過傳感器（如電感式、電容式或應(yīng)變片式傳感器）將探頭的位移轉(zhuǎn)化為電信號(hào)，再經(jīng)過放大、處理等環(huán)節(jié)，*終得到表面的平直度數(shù)據(jù)。這種方式適用于測(cè)量相對(duì)粗糙表面或者需要較高測(cè)量力以確保探頭與表面良好接觸的情況。

1. 高精度

? 能夠測(cè)量到微米甚至納米級(jí)別的不平度，這對(duì)于高精度加工的產(chǎn)品，如航空航天零部件、精密光學(xué)鏡片等非常重要。通過采用高精度的光學(xué)元件、*的傳感器技術(shù)和精密的機(jī)械結(jié)構(gòu)，確保測(cè)量結(jié)果的準(zhǔn)確性。

2. 高分辨率

? 在測(cè)量小范圍的不平度變化時(shí)，具有高分辨率。例如，在測(cè)量電子線路板表面的微小起伏時(shí)，可以清晰地分辨出幾微米的高度差，這有助于發(fā)現(xiàn)細(xì)微的表面缺陷，提高產(chǎn)品質(zhì)量。

3. 多種測(cè)量模式

? 可以進(jìn)行單點(diǎn)測(cè)量、多點(diǎn)測(cè)量或連續(xù)掃描測(cè)量。單點(diǎn)測(cè)量適用于對(duì)特定位置的平直度檢測(cè)；多點(diǎn)測(cè)量可獲取物體表面多個(gè)離散點(diǎn)的平直度數(shù)據(jù)，用于分析表面的整體平整度分布；連續(xù)掃描測(cè)量則能全面地描繪出物體表面的平直度輪廓，適用于對(duì)大面積表面的檢測(cè)。

4. 非接觸式測(cè)量（部分型號(hào)）

? 基于光學(xué)原理的非接觸式測(cè)量?jī)x，在測(cè)量過程中不會(huì)對(duì)被測(cè)物體表面造成劃傷、磨損或污染。這對(duì)于一些軟質(zhì)、易損或高精度的表面，如光學(xué)薄膜、半導(dǎo)體芯片表面等的測(cè)量具有很大優(yōu)勢(shì)。

5. 實(shí)時(shí)測(cè)量與數(shù)據(jù)處理

? 能夠在測(cè)量過程中實(shí)時(shí)顯示測(cè)量數(shù)據(jù)，并可進(jìn)行數(shù)據(jù)存儲(chǔ)、分析等操作。一些*的測(cè)量?jī)x還可以將測(cè)量結(jié)果與預(yù)設(shè)的標(biāo)準(zhǔn)值進(jìn)行對(duì)比，當(dāng)出公差范圍時(shí)自動(dòng)報(bào)警，方便操作人員及時(shí)調(diào)整生產(chǎn)工藝。

? 在鐵路建設(shè)和維護(hù)中，測(cè)量鐵軌的平直度，保證列車行駛的平穩(wěn)性和安全性。在汽車制造中，測(cè)量車架、車身外殼等部件的平直度，提高汽車的整體質(zhì)量。