價(jià)格
￥38,600.00
型號(hào)
KT--Z1650CVD
品牌
鄭科探
所在地
鄭州市
更新時(shí)間
2024-07-18 09:44:49
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小型鎢舟蒸鍍儀KT-Z1650CVD
是一款小型多功能鍍膜儀，額定1800度高溫，自動(dòng)樣品擋板，靶臺(tái)旋轉(zhuǎn)，觸摸屏多段控制，工藝儲(chǔ)存等功能。
正空蒸發(fā)鍍膜包括以下基本過程：（1）加熱蒸發(fā)過程：包括由凝聚相轉(zhuǎn)變?yōu)闅庀嗟倪^程，每種蒸發(fā)物質(zhì)在不同的溫度有不同的飽和蒸氣壓。（2）氣態(tài)原子或分子在蒸發(fā)源與基片之間運(yùn)輸，即原子或分子在環(huán)境氣氛中的飛行過程。
（3）蒸發(fā)原子或分子在基片表面張得沉積過程。即是蒸發(fā)，凝聚，成核，核生長，形成連續(xù)的膜。由于基板溫度遠(yuǎn)
低于基板溫度遠(yuǎn)低于蒸發(fā)源溫度，因此，氣態(tài)分子在基片表面將發(fā)生直接由氣態(tài)到固態(tài)的相轉(zhuǎn)變過程。
SHAPE * MERGEFORMAT
編輯
以下是不同真空度 不同鍍膜時(shí)間鍍銅樣品圖
原樣品沒有鍍膜
115A 100秒 機(jī)械泵
115A 100秒 分子泵抽12分鐘
115A 120秒 分子泵抽20分鐘
真空度越高 越不易氧化 越接近金屬本色
技術(shù)參數(shù)
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控制方式 |
7寸人機(jī)界面 手動(dòng) 自動(dòng)模式切換控制 |
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加熱方式 |
數(shù)字式功率調(diào)整器 |
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鍍膜功能 |
0-999秒5段可變換功率及擋板位和樣品速度程序 |
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功率 |
≤1200W |
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輸出電壓電流 |
電壓≤12V 電流≤120A |
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真空度 |
機(jī)械泵 ≤5Pa（5分鐘） 分子泵≤10^-3Pa |
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擋板類型 |
電控 |
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真空腔室 |
石英+不銹鋼腔體φ160mm x 160mm |
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樣品臺(tái) |
可旋轉(zhuǎn)φ62 （可安裝φ50基底） |
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樣品臺(tái)轉(zhuǎn)速 |
8轉(zhuǎn)/分鐘 |
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樣品蒸發(fā)源調(diào)節(jié)距離 |
70-140mm |
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蒸發(fā)溫度調(diào)節(jié) |
≤1800℃ |
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支持蒸發(fā)坩堝類型 |
鎢絲藍(lán) 帶坩堝鎢絲藍(lán) 鎢舟 碳繩 |
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預(yù)留真空接口 |
KF25抽氣口 KF16真空計(jì)接口 KF16放氣口 6mm卡套進(jìn)氣口 |
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可選配擴(kuò)展 |
機(jī)械真空泵（可抽真空 5分鐘＜5Pa） 數(shù)顯真空計(jì)（測量范圍大氣壓到0.1Pa） 分子泵機(jī)組（可抽真空20分鐘≤5x10-3Pa） |
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KT—Z1650CVD是一款小型臺(tái)式加熱功率可控蒸發(fā)鍍膜儀，儀器雖小功能齊全，配備有電壓，電流反饋，樣品臺(tái)旋轉(zhuǎn)，樣品高度調(diào)節(jié)及電動(dòng)擋板功能。通過定時(shí)調(diào)節(jié)預(yù)濺射功率及薄膜沉積功率，可對大部分金屬進(jìn)行均勻物理沉積，真空腔室為透明石英玻璃減少樣品污染，樣品臺(tái)可旋轉(zhuǎn)以獲得更均勻的薄膜，可制備各種金屬薄膜和有機(jī)物薄膜。