產(chǎn)品介紹:
名 稱:可編程勻膠機HC160PE
型 號:HC160PE
應(yīng) 用:采用高級PLC 全自動程序控制,轉(zhuǎn)速精度高,穩(wěn)定性好??捎糜谖㈦娮印?br /> 半導(dǎo)體、新能源、生物材料、納米材料等領(lǐng)域高精度薄膜涂層的制備。
產(chǎn)品概述:
HC160PE可編程精密勻膠機被設(shè)計為涂膠處理基片尺寸為?5mm~160mm或?qū)?yīng)的,使用工業(yè)級直流馬達和PLC控制,4.3英寸全彩觸屏人機界面操作,簡單易用。勻膠機在材料、化學(xué)或生物等實驗室被廣泛用于薄膜制備,納米薄膜研究等相關(guān)領(lǐng)域。
靈巧型勻膠機設(shè)計標準為結(jié)構(gòu)緊湊、簡單易用,程控操作,且能夠升級自動點膠功能,尺寸上可從通用的手套箱過渡艙內(nèi)進出,具有優(yōu)異的。亦可提供分體式設(shè)計,進行嵌入式安裝,與手套箱進行配合。
性能參數(shù):
適用晶元尺寸范圍:?5~160mm;
旋涂速度:100~12000rpm;轉(zhuǎn)速分辨率:1rpm;
旋涂加速度:100-30000rpm/s;
*旋涂時間:3000s;旋涂時間精度:0.1s;
內(nèi)腔直徑220mm,內(nèi)腔壁采用的凹面防濺設(shè)計;
具備單步快速旋涂和多步編程旋涂,可編程100組程序,每組程序10步;
電源輸入:AC200-230V;
產(chǎn)品特點:
產(chǎn)品外型尺寸:
358mm(D)*252mm(W)*255mm(H)
HDPE高分子材料耐腐蝕內(nèi)腔
HDPE高分子內(nèi)腔及載物盤
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