W1光學(xué)3D表面輪廓儀

價(jià)格
電議

型號(hào)
SuperViewW1

品牌
中圖儀器

所在地
暫無(wú)

更新時(shí)間
2023-09-20 17:25:27

瀏覽次數(shù)

    W1光學(xué)3D表面輪廓儀以白光干涉技術(shù)為原理,除主要用于測(cè)量表面形貌或測(cè)量表面輪廓外,具有的測(cè)量晶圓翹曲度功能,非常適合晶圓,太陽(yáng)能電池和玻璃面板的翹曲度測(cè)量,應(yīng)變測(cè)量以及表面形貌測(cè)量。

    W1光學(xué)3D表面輪廓儀可測(cè)各類從光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級(jí)別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等,提供依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT四大國(guó)內(nèi)外標(biāo)準(zhǔn)共計(jì)300余種2D、3D參數(shù)作為評(píng)價(jià)標(biāo)準(zhǔn)。

    638290734090770397282.jpg

    應(yīng)用領(lǐng)域

    W1光學(xué)3D表面輪廓儀可對(duì)各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺(tái)階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測(cè)量和分析。

    結(jié)果組成:

    1、三維表面結(jié)構(gòu):粗糙度,波紋度,表面結(jié)構(gòu),缺陷分析,晶粒分析等;

    2、二維圖像分析:距離,半徑,斜坡,格子圖,輪廓線等;

    3、表界面測(cè)量:透明表面形貌,薄膜厚度,透明薄膜下的表面;

    4、薄膜和厚膜的臺(tái)階高度測(cè)量;

    5、劃痕形貌,摩擦磨損深度、寬度和體積定量測(cè)量;

    6、微電子表面分析和MEMS表征。

    638288161503661229674.jpg

    產(chǎn)品功能

    (1)W1光學(xué)3D表面輪廓儀設(shè)備提供表征微觀形貌的粗糙度和臺(tái)階高、角度等輪廓尺寸測(cè)量功能;

    (2)測(cè)量中提供自動(dòng)對(duì)焦、自動(dòng)找條紋、自動(dòng)調(diào)亮度等自動(dòng)化輔助功能;

    (3)測(cè)量中提供自動(dòng)拼接測(cè)量、定位自動(dòng)多區(qū)域測(cè)量功能;

    (4)分析中提供校平、圖像修描、去噪和濾波、區(qū)域提取等四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能;

    (5)分析中提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能;

    638288161651420062132.jpg

    性能特色

    1、高精度、高重復(fù)性

    1)采用光學(xué)干涉技術(shù)、精密Z向掃描模塊和3D重建算法組成測(cè)量系統(tǒng),保證測(cè)量精度高;

    2)隔振系統(tǒng),能夠有效隔離頻率2Hz以上絕大部分振動(dòng),消除地面振動(dòng)噪聲和空氣中聲波振動(dòng)噪聲,保障儀器在大部分的生產(chǎn)車間環(huán)境中能穩(wěn)定使用,獲得高測(cè)量重復(fù)性;

    2、環(huán)境噪聲檢測(cè)功能

    具備的環(huán)境噪聲檢測(cè)模塊能夠定量評(píng)估出外界環(huán)境對(duì)儀器掃描軸的震動(dòng)干擾,在設(shè)備調(diào)試、日常監(jiān)測(cè)、故障排查中能夠提供定量的環(huán)境噪聲數(shù)據(jù)作為支撐。

    3、精密操縱手柄

    集成X、Y、Z三個(gè)方向位移調(diào)整功能的操縱手柄,可快速完成載物臺(tái)平移、Z向聚焦、找條紋等測(cè)量前工作。

    4、雙重防撞保護(hù)措施

    在初級(jí)的軟件ZSTOP設(shè)置Z向位移下限位進(jìn)行防撞保護(hù)外,另在Z軸上設(shè)計(jì)有機(jī)械電子傳感器,當(dāng)鏡頭觸碰到樣品表面時(shí),儀器自動(dòng)進(jìn)入緊急停止?fàn)顟B(tài),*限度的保護(hù)儀器,降低人為操作風(fēng)險(xiǎn)。

    5、雙通道氣浮隔振系統(tǒng)

    既可以接入客戶現(xiàn)場(chǎng)的穩(wěn)定氣源也可以接入標(biāo)配靜音空壓機(jī),在無(wú)外接氣源的條件下也可穩(wěn)定工作。


    部分技術(shù)指標(biāo)


    型號(hào)

    W1

    光源 白光LED
    影像系統(tǒng) 1024×1024
    干涉物鏡

    標(biāo)配:10×

    選配:2.5×、5×、20×、50×、100×

    光學(xué)ZOOM

    標(biāo)配:0.5×

    選配:0.375×、0.75×、1×

    標(biāo)準(zhǔn)視場(chǎng) 0.98×0.98㎜(10×物鏡,光學(xué)ZOOM 0.5×)


    XY位移平臺(tái)

    尺寸
    320×200㎜
    移動(dòng)范圍 140×100㎜
    負(fù)載 10kg
    控制方式 電動(dòng)
    Z軸聚焦 行程 100㎜
    控制方式 電動(dòng)
    臺(tái)階測(cè)量
    可測(cè)樣品反射率 0.05%~*
    主機(jī)尺寸 700×606×920㎜


    如有疑問(wèn)或需要更多詳細(xì)信息,請(qǐng)隨時(shí)聯(lián)系中圖儀器咨詢。

    以上信息由企業(yè)自行提供,信息內(nèi)容的真實(shí)性、準(zhǔn)確性和合法性由相關(guān)企業(yè)負(fù)責(zé),儀器儀表交易網(wǎng)對(duì)此不承擔(dān)任何保證責(zé)任。
    溫馨提示:為規(guī)避購(gòu)買風(fēng)險(xiǎn),建議您在購(gòu)買產(chǎn)品前務(wù)必確認(rèn)供應(yīng)商資質(zhì)及產(chǎn)品質(zhì)量。

    其他推薦產(chǎn)品

    WD4000無(wú)圖晶圓幾何形貌量測(cè)系統(tǒng)
    WD4000無(wú)圖晶圓幾何
    電議
    激光掃描3d成像影像儀
    激光掃描3d成像影像儀
    ¥520,000.00
    國(guó)產(chǎn)激光共聚焦顯微鏡
    國(guó)產(chǎn)激光共聚焦顯微鏡
    ¥950,000.00
    SJ5180激光測(cè)長(zhǎng)儀測(cè)長(zhǎng)機(jī)
    SJ5180激光測(cè)長(zhǎng)儀測(cè)
    電議
    中圖儀器GTS激光跟蹤儀
    中圖儀器GTS激光跟蹤儀
    電議
    W1光學(xué)3D表面輪廓儀
    W1光學(xué)3D表面輪廓儀
    電議
    sj5160全自動(dòng)測(cè)長(zhǎng)機(jī)
    sj5160全自動(dòng)測(cè)長(zhǎng)機(jī)
    電議
    您是不是在找:
    其它生化試劑

    首頁(yè)| 關(guān)于我們| 聯(lián)系我們| 友情鏈接| 廣告服務(wù)| 會(huì)員服務(wù)| 付款方式| 意見(jiàn)反饋| 法律聲明| 服務(wù)條款