VPG⁺200 / VPG⁺400

高靈活度與高精度光刻的解決方案

The Multi-Purpose Volume Pattern Generators

光學(xué)系統(tǒng)上的創(chuàng)新與突破-平行化曝光制程技術(shù)制版系統(tǒng)

VPG+系列分為中小尺寸和大尺寸曝光系統(tǒng)，*服務(wù)中小型和大型版面的光刻制程。
VPG+200和VPG+400為*的中小型快速光刻機(jī)，采用VPG+800以上的大型平臺的運(yùn)作原理，擁有光刻領(lǐng)域的*技術(shù)。

產(chǎn)業(yè)應(yīng)用：MEMS、*封裝、3D集成、LED生產(chǎn)及化合物半導(dǎo)體等的領(lǐng)域。

關(guān)于我們 - Stella International

Stella International攜手光刻技術(shù)領(lǐng)航者-海德堡儀器公司，共同為客戶帶來*的綜合應(yīng)用效能，同時建立緊密的合作伙伴關(guān)系。

為了服務(wù)客戶更廣泛多元的應(yīng)用領(lǐng)域，Stella International于 2016年在蘇州成立海德堡儀器演示中心，以海德堡原廠伙伴技術(shù)支援，提供客戶技術(shù)交流平臺以及各式前段打樣的基礎(chǔ)研究，

這些年來已服務(wù)許多的國內(nèi)大學(xué)，研究所與企業(yè)前期研發(fā)單位。

介紹

德國海德堡 高精密無掩膜激光直寫設(shè)備
HEIDELBERG MASKLESS AND LASER LITHOGRAPHY SYSTEM

德國海德堡設(shè)備(Heidelberg Instruments)，創(chuàng)始于1984年，在激光直寫設(shè)備的發(fā)展和設(shè)計(jì)上，一直是*的。多年以來，系統(tǒng)設(shè)備持續(xù)地改良、在各種應(yīng)用上客制化。

應(yīng)用范圍包括：微電腦和納米科技, MEMS, 平面屏幕, BGA, ASICS, TFT, Plasma Displays, Micro Optics, 和其他相關(guān)領(lǐng)域。

銷售橫跨歐洲、美國、亞洲等過50幾個*、700個以上銷售據(jù)點(diǎn)，用于研發(fā)、快速原型制作和工業(yè)生產(chǎn)系統(tǒng)，是企業(yè)研究和發(fā)展的*伙伴。