MT-50A系列質(zhì)量流量計(jì)/控制器由質(zhì)量流量傳感器,
分流器通道,流量控制調(diào)節(jié)閥和放大控制電路等部
件組成。
本流量控制器利用流動(dòng)流體傳遞熱量改變測(cè)量毛細(xì)
管壁溫度分布的熱傳導(dǎo)分布效應(yīng)爾制成
采用毛細(xì)管傳熱溫差量熱法原理測(cè)量氣體的質(zhì)量流
量,可以不受溫度壓力的影響,將傳感器測(cè)得得流
量信號(hào)進(jìn)行放大,然后與設(shè)定的電壓值進(jìn)行比較,
用所得的差值信號(hào)去驅(qū)動(dòng)控制調(diào)節(jié)閥門(mén),閉環(huán)控制
流過(guò)通道的流量使之與設(shè)定的流量相等。
標(biāo)準(zhǔn)
本公司產(chǎn)品采用人民電子行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)
MT-50A
□
-
□□□
型式
A
模擬式
B
數(shù)字式
功能
M
流量計(jì)
C
流量控制器
流量范圍
ABC
氣體種類(lèi)
013
N2
008
Air
015
O2
004
Ar
025
CO2
001
He
FFF
其他
接頭
1/4”VCR
1
1/2”VCR
2
3”SWL
3
6”SWL
4
F
訊號(hào)
DC 0~5V
電源
24V
SJ/T10583-94 以及SJ37 所規(guī)定的通用技術(shù)條 產(chǎn)品尺寸182×40×125mm
件和命名方法。
質(zhì)量流量控制器出廠(chǎng)通常用氮?dú)猓?/span>N2)。 型號(hào)選型
質(zhì)量流量的單位規(guī)定為:SCCM(標(biāo)準(zhǔn)毫升/分)
SLM(標(biāo)準(zhǔn)升/分)
標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)規(guī)定為:溫度--273.15K( 0℃ )
氣壓--101325pa(760mm Hg) F.S(Full Scale):滿(mǎn)量程值
特點(diǎn):
MT-50A系列可應(yīng)用在30SLM-200SLM的氣體流量范圍
并且不會(huì)受到溫度及壓力變化的影響,應(yīng)用范圍廣
模擬式質(zhì)量流量計(jì)/控制器
·低單價(jià) ·環(huán)境溫度補(bǔ)正 ·可應(yīng)用流量范圍廣
·0-5,10,20,30,50,100,200,500SCCM
·0-1, 3 , 5 , 10, 20 , 30,100,200SLM
高精度
·±1%F.S(≤15SLM) ·±2%F.S(>15SLM)
小體積
可選用MT-1A流量顯示儀或MT-1B流量積算儀配
套使用。
輸入,輸出,供電
·輸入設(shè)定電壓…………4-20mA
·輸出電壓檢測(cè)…………4-20mA
基本參數(shù)
流量計(jì)/控制器
基本型號(hào)
滿(mǎn)量程流量范圍(N2)
SCCM
0~5,10,20,30,50,100,200,500
SLM
0~1, 2, 3, 5, 10, 15, 20, 30,100,200
精度(%F.S)
±1(≤15SLM)
±2(>15SLM.)
控制閥動(dòng)作型式
常閉式
線(xiàn)性(%F.S.)
±0.5~1(≤15SLM)
±2%(>15SLM.)
重復(fù)精度(%F.S.)
±0.2
響應(yīng)時(shí)間(sec)
≤3
流量輸出信號(hào)
4-20mA
流量設(shè)定信號(hào)
電器接頭
DB15 pin(接頭)
工作環(huán)境溫度
(℃)
5~45
工作壓差
(MPa)
0.1~0.3
漏率
SCCSHe
1×10-9
*耐壓
3MPa
介質(zhì)接觸材質(zhì)
304,316,316L
密封材料
氟橡膠,硅橡膠,聚四氟乙烯
VCR " 1/4、1/2
Swagelok1/8”、1/4” 、3/8” 、1/2”或φ3、φ6、φ8、φ10、φ12mm
接頭和尺寸
Φ6mm,1/4"Swagelok:127×28×100mm
1/4"VCR:127×28×100mm
電源要求
+15V,50mA;-15V,200mA
重量
0.75KG
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MT-50A系列質(zhì)量流量計(jì)/控制器由質(zhì)量流量傳感器,
分流器通道,流量控制調(diào)節(jié)閥和放大控制電路等部
件組成。
本流量控制器利用流動(dòng)流體傳遞熱量改變測(cè)量毛細(xì)
管壁溫度分布的熱傳導(dǎo)分布效應(yīng)爾制成
采用毛細(xì)管傳熱溫差量熱法原理測(cè)量氣體的質(zhì)量流
量,可以不受溫度壓力的影響,將傳感器測(cè)得得流
量信號(hào)進(jìn)行放大,然后與設(shè)定的電壓值進(jìn)行比較,
用所得的差值信號(hào)去驅(qū)動(dòng)控制調(diào)節(jié)閥門(mén),閉環(huán)控制
流過(guò)通道的流量使之與設(shè)定的流量相等。
標(biāo)準(zhǔn)
本公司產(chǎn)品采用人民電子行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)
MT-50A
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-
□□□
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□□□
-
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□
型式
A
模擬式
B
數(shù)字式
功能
M
流量計(jì)
C
流量控制器
流量范圍
ABC
氣體種類(lèi)
013
N2
008
Air
015
O2
004
Ar
025
CO2
001
He
FFF
其他
接頭
1/4”VCR
1
1/2”VCR
2
3”SWL
3
6”SWL
4
其他
F
訊號(hào)
DC 0~5V
1
其他
2
電源
24V
1
SJ/T10583-94 以及SJ37 所規(guī)定的通用技術(shù)條 產(chǎn)品尺寸182×40×125mm
件和命名方法。
質(zhì)量流量控制器出廠(chǎng)通常用氮?dú)猓?/span>N2)。 型號(hào)選型
質(zhì)量流量的單位規(guī)定為:SCCM(標(biāo)準(zhǔn)毫升/分)
SLM(標(biāo)準(zhǔn)升/分)
標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)規(guī)定為:溫度--273.15K( 0℃ )
氣壓--101325pa(760mm Hg) F.S(Full Scale):滿(mǎn)量程值
特點(diǎn):
MT-50A系列可應(yīng)用在30SLM-200SLM的氣體流量范圍
并且不會(huì)受到溫度及壓力變化的影響,應(yīng)用范圍廣
模擬式質(zhì)量流量計(jì)/控制器
·低單價(jià) ·環(huán)境溫度補(bǔ)正 ·可應(yīng)用流量范圍廣
·0-5,10,20,30,50,100,200,500SCCM
·0-1, 3 , 5 , 10, 20 , 30,100,200SLM
高精度
·±1%F.S(≤15SLM) ·±2%F.S(>15SLM)
小體積
可選用MT-1A流量顯示儀或MT-1B流量積算儀配
套使用。
輸入,輸出,供電
·輸入設(shè)定電壓…………4-20mA
·輸出電壓檢測(cè)…………4-20mA
基本參數(shù)
功能
流量計(jì)/控制器
基本型號(hào)
MT-50A
滿(mǎn)量程流量范圍(N2)
SCCM
0~5,10,20,30,50,100,200,500
SLM
0~1, 2, 3, 5, 10, 15, 20, 30,100,200
精度(%F.S)
±1(≤15SLM)
±2(>15SLM.)
控制閥動(dòng)作型式
常閉式
線(xiàn)性(%F.S.)
±0.5~1(≤15SLM)
±2%(>15SLM.)
重復(fù)精度(%F.S.)
±0.2
響應(yīng)時(shí)間(sec)
≤3
流量輸出信號(hào)
4-20mA
流量設(shè)定信號(hào)
4-20mA
電器接頭
DB15 pin(接頭)
工作環(huán)境溫度
(℃)
5~45
工作壓差
(MPa)
0.1~0.3
漏率
SCCSHe
1×10-9
*耐壓
3MPa
介質(zhì)接觸材質(zhì)
304,316,316L
密封材料
氟橡膠,硅橡膠,聚四氟乙烯
接頭
VCR " 1/4、1/2
Swagelok1/8”、1/4” 、3/8” 、1/2”或φ3、φ6、φ8、φ10、φ12mm
接頭和尺寸
Φ6mm,1/4"Swagelok:127×28×100mm
1/4"VCR:127×28×100mm
電源要求
+15V,50mA;-15V,200mA
重量
0.75KG