N90 系列六自由度并聯(lián)機(jī)構(gòu)，是 θx、θy、θz、X、Y、Z 六軸運(yùn)動(dòng)工作臺(tái)，通過六支壓電促動(dòng)器的協(xié)調(diào)伸縮實(shí)現(xiàn)空間內(nèi)六個(gè)自由度的運(yùn)動(dòng)，臺(tái)體結(jié)構(gòu)緊湊，三種規(guī)格型號(hào)可供選擇，閉環(huán)型號(hào)定位精度高，是六自由度微操作、微電子精密加工等應(yīng)用的*。

特點(diǎn)：

    ? 六軸 θx、θy、θz、X、Y、Z 

    ? 閉環(huán)定位精度高 

    ? 小耦合 

    ? 誤差無積累