德國(guó)TranSpec Lite 系列白光干涉光譜儀,用于有機(jī)膜厚測(cè)量,在車燈,薄膜,半導(dǎo)體等行業(yè)有眾多的應(yīng)用實(shí)例應(yīng)用白光干涉原理對(duì)車燈表面透光層膜厚(TCL,IPL及AFL)進(jìn)行非接觸式、無(wú)損、高精度測(cè)量。
技術(shù)參數(shù): ? 尺寸 (H x W x D): ~ 150 x 195 x 265 mm, 重量: ~4.4 kg ? 自動(dòng)轉(zhuǎn)換100/240V外部電源 ? FSMA 行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)分叉光光纖連接器 ? 德國(guó)Carl Zeis的分光儀模塊,使用全息凹面衍射光柵 ? 512像素光電二極管,無(wú)冷卻要求 ? 工廠預(yù)置模塊,無(wú)移動(dòng)部件 ? 波長(zhǎng)范圍: 600-1020 nm ? 厚度測(cè)量范圍:約2um至120um
? 光譜分辨:2.4 nm ? 光譜像素分辨: 0.8 nm ? *波長(zhǎng)精度: 小于 0.3 nm ? 溫度漂移: 小于0.005 nm / Kelvin ? 集成機(jī)械光閘,手動(dòng)或自動(dòng)切換 ? 美國(guó)Welch Allyn 7W微型鹵素?zé)?/span> ? 配備FTM-Provis Lite膜厚測(cè)量軟件,可同時(shí)TCL和IPL雙層膜厚
德國(guó)TranSpec Lite 系列白光干涉光譜儀,用于有機(jī)膜厚測(cè)量,在車燈,薄膜,半導(dǎo)體等行業(yè)有眾多的應(yīng)用實(shí)例應(yīng)用白光干涉原理對(duì)車燈表面透光層膜厚(TCL,IPL及AFL)進(jìn)行非接觸式、無(wú)損、高精度測(cè)量。
技術(shù)參數(shù):
? 尺寸 (H x W x D): ~ 150 x 195 x 265 mm, 重量: ~4.4 kg
? 自動(dòng)轉(zhuǎn)換100/240V外部電源
? FSMA 行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)分叉光光纖連接器
? 德國(guó)Carl Zeis的分光儀模塊,使用全息凹面衍射光柵
? 512像素光電二極管,無(wú)冷卻要求
? 工廠預(yù)置模塊,無(wú)移動(dòng)部件
? 波長(zhǎng)范圍: 600-1020 nm
? 厚度測(cè)量范圍:約2um至120um
? 光譜分辨:2.4 nm
? 光譜像素分辨: 0.8 nm
? *波長(zhǎng)精度: 小于 0.3 nm
? 溫度漂移: 小于0.005 nm / Kelvin
? 集成機(jī)械光閘,手動(dòng)或自動(dòng)切換
? 美國(guó)Welch Allyn 7W微型鹵素?zé)?/span>
? 配備FTM-Provis Lite膜厚測(cè)量軟件,可同時(shí)TCL和IPL雙層膜厚
? 配備FTM-Lite X膜厚測(cè)量軟件可,同時(shí)分析TCL、IPL和AFL三層膜厚
? 多線程 MDI-應(yīng)用, 詳細(xì)的幫助菜單,彩色打印的用戶手冊(cè)
? 通過(guò)特定的傅里葉快速轉(zhuǎn)換進(jìn)行干涉波譜計(jì)算
? 用于計(jì)算FFT峰位(膜厚結(jié)果)的高精度算法
? 準(zhǔn)確性+/- 0.005 um, 重復(fù)性 +/- 0.002 um( 標(biāo)準(zhǔn)WEG 測(cè)試)
? 測(cè)量期間能實(shí)時(shí)顯示干涉,FFT波譜和膜厚的趨勢(shì)
? 考慮折射率和色散 (柯西色散定理)
? 可同時(shí)測(cè)量雙層或三層膜厚
技術(shù)特點(diǎn)
光學(xué)方法,非接觸、無(wú)損測(cè)量,安全無(wú)輻射。
快速膜厚分析,只需幾毫秒即可獲得測(cè)量結(jié)果
應(yīng)用領(lǐng)域:
半導(dǎo)體(SiO2/SiNx、光刻膠、MEMS,SOI等)
LCD/TFT/PDP(液晶盒厚、聚亞酰胺ITO等)
LED (SiO2、光刻膠ITO等)
觸摸屏(ITO AR Coating反射/穿透率測(cè)試等)
汽車(防霧層、Hard Coating DLC等)
醫(yī)學(xué)(聚對(duì)二甲苯涂層球囊/導(dǎo)尿管壁厚藥膜等)