探針臺主要應用于半導體行業(yè)、光電行業(yè)、集成電路以及封裝的測試。廣泛應用于復雜、高速器件的精密電氣測量的研發(fā),旨在確保質量及可靠性,并縮減研發(fā)時間和器件制造工藝的成本
該探針臺的承片臺X/Y/Z三個方向均可在真空環(huán)境下調節(jié),其中X方向調節(jié)范圍:0-30mm;y方向調節(jié)范圍:0-13mm;z方向調節(jié)范圍:0-13mm;用戶可根據(jù)需要自行調節(jié)。使用時將需檢測的器件固定在加熱臺上,再微調探針支架X/Y/Z 方向行程,通過顯微鏡觀察,使探針對準檢測點后,即可進行檢測
實驗腔體
腔體材質
304不銹鋼
上蓋開啟
鉸鏈側開
內腔體尺寸
φ140x180
加熱臺材質
觀察窗尺寸
φ75
加熱臺尺寸
50x50
加熱臺溫度
室溫-350℃可調
加熱臺溫控誤差
±1℃
真空度
機械泵≤10Pa 分子泵≤10-3Pa
真空抽氣口
KF25
氣體進氣口
3mm-6mm卡套接頭
進氣閥門
高精密針閥
抽氣閥門
KF25真空擋板閥
壓力表
機械壓力表 -0.1-0.15mpa
信號電極
4個
探針數(shù)量
探針材質
φ1.5鎢針 其他材質可選
探針移動平臺
X軸移動行程
30mm ±15mm
X軸控制精度
≤0.1MM
Y軸移動行程
13MM ±6.5mm
Y軸控制精度
≤0.05MM
Z軸移動行程
13mm ±6.5mm
Z軸控制精度
電極芯
1芯
電極引出接頭
BNC母頭
電極引出線
銅網(wǎng)信號屏蔽線
BNC引出接頭
X4
額定電流
≤5A
額定電壓
≤220V
電極芯直徑
φ1mm
接觸電阻
≤5MΩ
絕緣電阻
≥1000 MΩ
外殼接地
是
電子顯微鏡
電子顯微鏡根據(jù)客戶需要配置不同倍率 請和客服溝通
做氣體傳感器的客戶可以選擇本公司的多通道智能氣體配比系統(tǒng)
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探針臺主要應用于半導體行業(yè)、光電行業(yè)、集成電路以及封裝的測試。廣泛應用于復雜、高速器件的精密電氣測量的研發(fā),旨在確保質量及可靠性,并縮減研發(fā)時間和器件制造工藝的成本
該探針臺的承片臺X/Y/Z三個方向均可在真空環(huán)境下調節(jié),其中X方向調節(jié)范圍:0-30mm;y方向調節(jié)范圍:0-13mm;z方向調節(jié)范圍:0-13mm;用戶可根據(jù)需要自行調節(jié)。使用時將需檢測的器件固定在加熱臺上,再微調探針支架X/Y/Z 方向行程,通過顯微鏡觀察,使探針對準檢測點后,即可進行檢測
實驗腔體
腔體材質
304不銹鋼
上蓋開啟
鉸鏈側開
內腔體尺寸
φ140x180
加熱臺材質
304不銹鋼
觀察窗尺寸
φ75
加熱臺尺寸
50x50
加熱臺溫度
室溫-350℃可調
加熱臺溫控誤差
±1℃
真空度
機械泵≤10Pa 分子泵≤10-3Pa
真空抽氣口
KF25
氣體進氣口
3mm-6mm卡套接頭
進氣閥門
高精密針閥
抽氣閥門
KF25真空擋板閥
壓力表
機械壓力表 -0.1-0.15mpa
信號電極
4個
探針數(shù)量
4個
探針材質
φ1.5鎢針 其他材質可選
探針移動平臺
X軸移動行程
30mm ±15mm
X軸控制精度
≤0.1MM
Y軸移動行程
13MM ±6.5mm
Y軸控制精度
≤0.05MM
Z軸移動行程
13mm ±6.5mm
Z軸控制精度
≤0.05MM
信號電極
電極芯
1芯
電極引出接頭
BNC母頭
電極引出線
銅網(wǎng)信號屏蔽線
BNC引出接頭
X4
額定電流
≤5A
額定電壓
≤220V
電極芯直徑
φ1mm
接觸電阻
≤5MΩ
絕緣電阻
≥1000 MΩ
外殼接地
是
電子顯微鏡
電子顯微鏡根據(jù)客戶需要配置不同倍率 請和客服溝通
做氣體傳感器的客戶可以選擇本公司的多通道智能氣體配比系統(tǒng)