(1) 型號代碼 選項: A21 for 不帶顯示器的質量流量計 A22 for 有控制閥的質量流量控制器 A23 for 帶顯示屏的質量流量計 A24 for 有顯示和控制閥的質量流量控制器
(2) 量程代碼 選項: 00 for 0-10 SCCM 01 for 0-20 SCCM 02 for 0-50 SCCM 03 for 0-100 SCCM 04 for 0-200 SCCM 05 for 0-500 SCCM 06 for 0-1 SLM 07 for 0-2 SLM 08 for 0-5 SLM 09 for 0-10 SLM 10 for 0-15 SLM 11 for 0-20 SLM 12 for 0-25 SLM 13 for 0-30 SLM 14 for 0-35 SLM 15 for 0-40 SLM 16 for 0-45 SLM 17 for 0-50 SLM 18 for 0-55 SLM 19 for 0-60 SLM 20 for 0-65 SLM 21 for 0-70 SLM 22 for 0-75 SLM 23 for 0-100 SLM
(3) 可選316不銹鋼閥體 選項: 無(選項為空白) for 標準體材料 -SS for 可選316不銹鋼閥體
(4) 型號代碼 選項: 無(選項為空白) for 在20 psig的標準模型的氮氣或空氣 (**) for 進氣口/出口壓力溫度
工業(yè)用熱式氣體質量流量計-OMEGA原廠直銷產品描述
FMA-A2000系列電子質量流量計/控制器性能出眾、 功能多樣、設計*、外形緊湊。FMA-A2000利用毛細管式熱感技術直接測量氣體的質量流量。無需進行溫度、壓力或平方根校正。FMA-A2300/2400系列配備LCD顯示屏,并且所有型號都提供線性0 ~ 5 Vdc和 4 ~ 20 mA輸出。FMA-A2000測量0 ~ 100 SLM之間24個量程的氣體質 量流量。要查看完整列表,請參閱下一頁的量程表。 FMA-A2000系列與大部分非腐蝕性氣體相容。建議用戶對照氣體相容性檢查接液材料。
OMEGA的質量流量控制器利用內部電磁比例閥控制質量流量??梢酝ㄟ^內部電位器設定值或者通過0 ~ 5 Vdc外部源 提供指令信號。
OMEGA FMA系列質量流量計
規(guī)格:
精度: 滿量程的±1%(包括線性度)
重復性: 滿量程的±0.15%或者更佳
量程比: 100:1
響應時間: 5秒
氣體環(huán)境溫度: 0 ~ 50°C (32 ~ 122°F)
溫度系數(shù): 每1°C為滿量程的0.05%或更佳
壓力系數(shù): 每psi為滿量程的0.01%或更佳
*低壓力要求:
流量計: 1英寸水柱
*流速為1 SLM的控制器: 1 psi
流速大于20 SLM的控制器: 20 psi
質量流量控制器的壓差: <5 LPM,5 ~ 50 psi(標準)
>5 LPM,20 ~ 40 psi(標準)
氣體*壓力:
聚甲醛: 250 psig
316不銹鋼: 500 psig
泄漏完整性: 1 x10-6 cc/min氦氣或更佳
接液部件:
標配: 聚甲醛、氟橡膠O形圈
選配: 316不銹鋼、氟橡膠O形圈
連接口: ? FNPT(標配);
?"壓合接頭(適用于所有不銹鋼型號流量計)
輸入/輸出連接口: 9針sub-D連接器
控制信號: 0 ~ 5 Vdc
控制閥: 常閉電磁閥
輸出信號: 線性0 ~ 5 Vdc(*小負載1000 ?),4 ~ 20 mA(環(huán)路電阻500 ?)
安裝螺紋:
316不銹鋼殼體: 6?32"螺紋
聚甲醛材料: #4/6自攻螺絲
輸入電源:
流量計: 24 Vdc @ 150 mA、115 Vac和220 Vac(帶交流適配器)
控制器: 24 Vdc @ 300 mA、115 Vac和220 Vac(帶交流適配器)
外形尺寸: 參見圖紙
重量: 1.25 kg (2.75 lb)(含電源)
選型說明:
(1) 型號代碼 選項:
A21 for 不帶顯示器的質量流量計
A22 for 有控制閥的質量流量控制器
A23 for 帶顯示屏的質量流量計
A24 for 有顯示和控制閥的質量流量控制器
(2) 量程代碼 選項:
00 for 0-10 SCCM
01 for 0-20 SCCM
02 for 0-50 SCCM
03 for 0-100 SCCM
04 for 0-200 SCCM
05 for 0-500 SCCM
06 for 0-1 SLM
07 for 0-2 SLM
08 for 0-5 SLM
09 for 0-10 SLM
10 for 0-15 SLM
11 for 0-20 SLM
12 for 0-25 SLM
13 for 0-30 SLM
14 for 0-35 SLM
15 for 0-40 SLM
16 for 0-45 SLM
17 for 0-50 SLM
18 for 0-55 SLM
19 for 0-60 SLM
20 for 0-65 SLM
21 for 0-70 SLM
22 for 0-75 SLM
23 for 0-100 SLM
(3) 可選316不銹鋼閥體 選項:
無(選項為空白) for 標準體材料
-SS for 可選316不銹鋼閥體
(4) 型號代碼 選項:
無(選項為空白) for 在20 psig的標準模型的氮氣或空氣
(**) for 進氣口/出口壓力溫度