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真空直線平臺(tái)：

真空步進(jìn)電機(jī)絲桿平臺(tái), 真空電機(jī)直線滑臺(tái), 真空直線平臺(tái),真空滾珠絲杠平臺(tái)

雙軸真空絲杠平臺(tái)，三軸真空絲桿直線平臺(tái)

AML的高真空直線絲桿平臺(tái)提供長(zhǎng)行程，具有*小高度可以負(fù)荷達(dá)10kg，他們有廣泛間隔的“五輥”滾筒導(dǎo)軌在簡(jiǎn)單的復(fù)合機(jī)制中是有用的扭轉(zhuǎn)載荷小。他們是制造使用耐真空的特殊材料，動(dòng)力使用AML的耐高真空步進(jìn)電機(jī)步進(jìn)電機(jī)。直線運(yùn)動(dòng)由金剛石研磨的并校正的絲桿和螺母配合，精密研磨以保證良好的精度并將預(yù)緊絲杠位置穩(wěn)定性消除齒隙。

真空平臺(tái)指標(biāo)

行程25-250mm , 每步的分辨率可以達(dá)到1u，零間隙，高剛性結(jié)構(gòu)，負(fù)載可以達(dá)到50kg?？梢灾苯哟钶dXYZ運(yùn)動(dòng)平臺(tái)。真空度范圍是：10^10mbar以內(nèi)。使用交叉滾珠導(dǎo)軌運(yùn)動(dòng)，使運(yùn)動(dòng)精度更高。