山東熱式氣體質(zhì)量控制器供應(yīng)商

價(jià)格
電議

型號(hào)
KTGMF

品牌
威海坤科流量儀表股份有限公司

所在地
威海市

更新時(shí)間
2020-08-25 17:55:03

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    山東熱式氣體質(zhì)量控制器供應(yīng)商( 宋)質(zhì)量流量控制器 (Mass Flow Controller 縮寫為 MFC) 用于對氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測量和控制。它們在半導(dǎo)體和集成電路工業(yè)、特種材料學(xué)科、化學(xué)工業(yè)、是有工業(yè)、醫(yī)藥、環(huán)保和真空燈多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的作用。其典型的應(yīng)用場合包括:電子工藝設(shè)備,如擴(kuò)散、外延、CVD、氧化、等離子刻蝕、濺射、離子注入;以及鍍膜設(shè)備、光纖熔煉、微反應(yīng)裝置、混氣

    山東熱式氣體質(zhì)量控制器供應(yīng)商

    工作原理

    氣體質(zhì)量流量控制器的精度、堅(jiān)固性及可靠性源于我公司的傳感器探頭。該密封探頭由兩傳感元件組成──速度傳感器及溫度傳感器,能自動(dòng)校正溫度及壓力變化產(chǎn)生的影響。儀表電路將速度傳感器加熱到高于氣體溫度的一個(gè)常數(shù)值,然后測量氣體流量的冷卻效果。通過測量保持恒定溫差所消耗的電功率與氣體的質(zhì)量流量成正比的原理計(jì)算流量。兩傳感器均為標(biāo)準(zhǔn)級(jí)白金電阻溫度探測器(RTD)。白金RTD 絲纏繞在堅(jiān)固的陶瓷芯軸上,牢固且可靠。整個(gè)傳感器密封在316 不銹鋼包裝殼內(nèi)。


    安徽熱式氣體質(zhì)量控制器供應(yīng)商

    開機(jī)操作檢查各設(shè)備連接處應(yīng)無泄漏現(xiàn)象,,氣源的溫度和壓力應(yīng)穩(wěn)定,按照產(chǎn)品說明電路連接正確之后通電。

    與流量顯示儀連接

    開機(jī)操作之后,先將流量顯示儀的閥開關(guān)置到“關(guān)閉”位,將設(shè)定值調(diào)到零,再開氣,待零點(diǎn)穩(wěn)定后,再轉(zhuǎn)到“閥控”位,然后設(shè)定值調(diào)到需要的流量值,則實(shí)際流量值會(huì)跟隨設(shè)定值而變化。

    與計(jì)算機(jī)連接

    開機(jī)操作之后,通過RS485與計(jì)算機(jī)通訊,之后在計(jì)算機(jī)上將設(shè)定值調(diào)到零,再開氣,待零點(diǎn)穩(wěn)定后,再通過計(jì)算機(jī)將設(shè)定值調(diào)到需要的流量值,則實(shí)際流量值會(huì)跟隨設(shè)定值而變化。

    關(guān)機(jī)操作

    先斷氣,再將設(shè)定值調(diào)到零,然后斷電。



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