PDC200 PDC210 PDC510等離子清洗機(jī)

價(jià)格
電議

型號(hào)
PDC200 PDC210 PDC510

品牌
日本雅馬拓

所在地
暫無

更新時(shí)間
2019-03-27 10:20:18

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    高頻輸出 300W（PDC200型）/500W（PDC210/510型）,電極尺寸 250×170mm（PDC200/210型）/410×170mm（PDC510型）適用于研究開發(fā)的小型等離子清洗機(jī)。

    PDC200/210/510等離子清洗機(jī)

    高頻輸出 300W（PDC200型）/500W（PDC210/510型）,電極尺寸 250×170mm（PDC200/210型）/410×170mm（PDC510型）適用于研究開發(fā)的小型等離子清洗機(jī)。 

    使用等離子的表面處理裝置。著重于“使用簡(jiǎn)單”的臺(tái)式高性能型號(hào)，調(diào)取數(shù)據(jù)簡(jiǎn)單，以電子材料為中心，可對(duì)應(yīng)多種用途。 

    用途 

    CSP、BGA、COB基板的等離子清洗

    去除有機(jī)膜和金屬氧化膜

    印刷電路基板的干式清洗

    界面活性處理

    LED封裝 

    特征

    DP模式（PDC510標(biāo)配·PDC200/210選配）

    RIE模式

    均勻性高的電極構(gòu)造

    操作簡(jiǎn)單的觸摸屏控制器 

    規(guī)格 

    型號(hào)

    PDC200

    PDC210

    PDC510

    等離子模式

    RIE（DP模式選配）

    RIE/DP

    電極構(gòu)造

    平行平板（固定）

    高頻輸出

    Max300W

    Max500W

    頻率

    13.56MHz

    控制·顯示

    液晶觸摸屏

    反應(yīng)室尺寸

    W400×D250×H150mm

    W500×D300×H200mm

    電極尺寸

    W250×D170mm

    W400×D200mm

    反應(yīng)室材質(zhì)

    鋁

    反應(yīng)氣體

    2系統(tǒng)（Ar、O2）

    填充氣體

    N2或干燥空氣

    反應(yīng)氣體流量控制

    流量計(jì)

    聚合控制器

    真空泵

    另行選配

    油泵（約345L/分）標(biāo)配

    油泵（約500L/分）標(biāo)配

    氣體導(dǎo)入口

    反應(yīng)氣體2個(gè)、填充氣體1個(gè)

    外形尺寸

    W540×D600×H600mm

    W540×D600×H600mm

    W700×D700×H1285mm

    重量

    約100kg

    約105kg

    約180kg

    電源

    單相 AC100V 10A

    三相AC200V 6A

    三相AC200V 8A

     

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