QUAVA 的750kHz、950kHz(高頻段)適用于半導(dǎo)體和液晶以及HDD等細(xì)微顆粒的除去

振板為不銹鋼振板，或者根據(jù)用途可制作石英槽，不銹鋼清洗槽。

搭載HIMEGA SONIC101系列的清洗裝置無需有任何更改即可使用本機(jī)型，且功能都具備對(duì)應(yīng)半導(dǎo)體用清洗裝置外部控制機(jī)能(RS-485、DeviceNet、8段功率設(shè)定、各種報(bào)警端子等)HI MEGASONIC系列(70110)

清洗均勻、細(xì)微的損傷基本沒有、*適用于半導(dǎo)體晶片和HDD部品等的精密清洗。
利用10?G的加速度和化學(xué)的作用除去微米以下的顆粒
可設(shè)定對(duì)應(yīng)不同的清洗物以及裝置的各種形狀的振板。接液部的材質(zhì)對(duì)應(yīng)于清洗液和潔凈度，使用不銹鋼·鉭·石英等材料來制作。另外、根據(jù)用途定制各種要求的振板。
振子使用有較好實(shí)績(jī)大型PZT、清洗均勻壽命長(zhǎng)。