MEMSMap 510激光多普勒振動測量系統(tǒng)

基于激光的微結構高頻、低振幅振動三維測量系統(tǒng)。

MEMSMap 510還可以測量靜態(tài)位移，它可以測量粗糙和光滑的表面，具有微米的空間分辨率。

通過使用長焦距物鏡，MEMSMap 510可以通過窗口和熱過濾器、鏡子以及液體介質進行測量。             

?MEMS和NEMS ?微結構 ?傳感器

?振動模式分析?響應譜?壓力傳感器?加速度計

?陀螺儀?碰撞傳感器?高溫測量?真空室測量

?熱偏轉測量?老化效應分析             

?汽車工業(yè)?傳感器工業(yè)?醫(yī)療工業(yè)?航空航天工業(yè)?電子工業(yè)?研發(fā)?產品測試

MEMSMap 510使用擴展的激光束照亮目標區(qū)域，同時通過顯微物鏡將目標成像到CMOS傳感器陣列上。

對于平面外測量，使用內部參考光束干擾目標光。對于平面內測量，兩束激光用于物體照明。

對于振動測量，系統(tǒng)計算機使用信號發(fā)生器驅動激勵裝置，目標物體在一個頻率范圍內被激勵。

振動振幅條紋可以實時顯示，同時采用的記錄算法計算數(shù)值振幅和相位圖。

對于靜態(tài)撓度測量，光電管技術基于相移來記錄和計算被測物體的靜態(tài)撓度。

激光器類型：Nd：YAG/2

激光波長：532nm

CCD分辨率：1936*1216/CMOS

振幅分辨率（數(shù)字模式）：0.1nm

振幅分辨率（實時模式）~1nm

3D頻率范圍：0-240MHz

  激光多普勒測振儀以其測速精度高、測速范圍廣、動態(tài)響應快、非接觸測量等優(yōu)點在航空航天、機械、生物學、醫(yī)學以及工業(yè)生產等領域得到了廣泛應用和快速發(fā)展。激光測振儀主要應用多普勒效應實現(xiàn)物體的振動測試，利用激光的非接觸測量可實現(xiàn)一些特殊環(huán)境下的測試，例如對微電子元件（MEMS），機床高速旋轉軸的徑向跳動及軸向振動以及在高溫腐蝕環(huán)境下的測試，實現(xiàn)了傳統(tǒng)的接觸式傳感器在這些應用領域的空白。