真空等離子清洗機(jī)
型號(hào):SGR-1300
:GRM
產(chǎn)品簡(jiǎn)述
1、等離子清洗機(jī)的結(jié)構(gòu)主要分為三個(gè)大的部分組成,分別是控制單元、真空腔體以及真空泵。
(A)控制單元
控制單元液晶觸摸屏控制方式。 而控制單元又分為兩個(gè)大的部分:
1)電源部分:主要電源頻率是13.56MHz、13.56MHz 是需要電源匹配器的
2)系統(tǒng)控制單元是液晶觸摸屏控制
(B)真空腔體
真空腔體材質(zhì):高強(qiáng)度鋁合金腔體
(C)真空泵
產(chǎn)品特點(diǎn)
處理溫度低:
處理溫度可以低至50°C以下,低的處理溫度可以確保對(duì)樣品表面不造成熱影響。
處理全程無(wú)污染
等離子清洗機(jī)本身是很環(huán)保的設(shè)備,無(wú)產(chǎn)生任何污染,處理過(guò)程也無(wú)產(chǎn)生任何污染。可以搭配原有生產(chǎn)流水線,實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)在線生產(chǎn),節(jié)約人力成本。
處理效果穩(wěn)定:
等離子清洗的處理效果非常均勻穩(wěn)定,常規(guī)樣品處理后較長(zhǎng)時(shí)間內(nèi)保持效果良好。
可以處理各種形狀的樣品:
對(duì)于復(fù)雜形狀的樣品等離子清洗都能找到合適的解決方案。真空等離子清洗更可實(shí)現(xiàn)對(duì)固體樣品內(nèi)部位置進(jìn)行清洗。
性能優(yōu)勢(shì)
德國(guó)電路技術(shù):
采用德國(guó)高壓激勵(lì)電源電路技術(shù),產(chǎn)生高密度等離子體,確保出眾的清洗效果
全面安全防護(hù):
溫度過(guò)高,過(guò)載,氣壓失常,短路斷路,誤操作,等全面的報(bào)警保護(hù)功能。
軍工級(jí)密封腔體:
軍工級(jí)的高真空度密封腔體材質(zhì)及制造工藝
靈活的氣體配方選擇:
可選擇兩路、三路、四路氣體配方方案,滿(mǎn)足不同工藝要求。
產(chǎn)品部件:
全部部件采用國(guó)內(nèi)外*部件,運(yùn)行穩(wěn)定壽命更長(zhǎng)
低溫清洗:
滿(mǎn)足不同場(chǎng)合溫度要求,不對(duì)清洗產(chǎn)品造成溫度影響。
環(huán)保簡(jiǎn)易:
極低的運(yùn)行成本,操作簡(jiǎn)單,過(guò)程無(wú)化學(xué)污染物排放,符合環(huán)保規(guī)范
等離子清洗的作用
等離子清洗的作用原理主要是:
(A)對(duì)材料表面的刻蝕作用--物理作用 等離子體中的大量離子、激發(fā)態(tài)分子、自由基等多種活性粒子,作用到固體樣品表面,不但清除了表面原有的污染物和雜質(zhì),而且會(huì)產(chǎn)生刻蝕作用,將樣品表面變粗糙,形成許多微細(xì)坑洼,增大了樣品的比表面。提高固體表面的潤(rùn)濕性能。
(B)激活鍵能,交聯(lián)作用
等離子體中的粒子能量在0~20eV,而聚合物中大部分的鍵能在0~10eV,因此等離子體作用到固體表面后,可以將固體表面的原有的化學(xué)鍵產(chǎn)生斷裂,等離子體中的自由基不這些鍵 形成網(wǎng)狀的交聯(lián)結(jié)構(gòu),大大地激活了表面活性。
(C)形成新的官能團(tuán)--化學(xué)作用 如果放電氣體中引入反應(yīng)性氣體,那么在活化的材料表面會(huì)収生復(fù)雜的化學(xué)反應(yīng),引入新的官能團(tuán),如烴基、氨基、羧基等,這些官能團(tuán)都是活性基團(tuán),能明顯提高材料表面活性。
參數(shù)指標(biāo)
整機(jī)規(guī)格
約1150×1350×1850(長(zhǎng)×寬×高)mm
整機(jī)重量
約400 Kg
鋁合金清洗腔體規(guī)格
780×400×475(長(zhǎng)×寬×高)mm
鋁合金清洗腔體有效積
130L
輸入電源
380V(三相)/50 Hz
整機(jī)輸入功率(含真空泵)
2500 W
射頻輸出(連續(xù)可調(diào))
0~600 W,配置真空電容自動(dòng)匹配器,輸出方式是恒功率模式,電源本身輸出功率是實(shí)際功率
射頻頻率
13.56 MHz
清洗時(shí)間定時(shí)器范圍
0~99.99 min
真空泵
德國(guó)技術(shù),雙極旋片真空泵,抽速可達(dá)60m3/h
極限真空度
工作真空度≦30Pa
真空度測(cè)量及量程
1.0×105~1.0×10-1 Pa進(jìn)口電子真空計(jì)
氣體流量計(jì)及量程
國(guó)內(nèi)*,量程0-300SCCM
進(jìn)氣閥
全自動(dòng)電子擋板閥
玻璃觀察窗
觀察清洗艙內(nèi)輝光狀態(tài)
常用工作氣體
氧氣氬氣氮?dú)饣蚧旌蠚怏w可選
氣路
的氣路分布結(jié)構(gòu),確保氣體分布均勻
PLC
德國(guó)西門(mén)子PLC,全自動(dòng)程序控制
觸摸屏
威綸通觸摸屏,人性化界面,極易操作
全面安全防護(hù)
溫度安全防護(hù)功能,過(guò)載防護(hù)功能,短路斷路報(bào)警防護(hù)功能,各種 誤操作保護(hù)功能
電氣部件
全采用施耐德
氣壓調(diào)節(jié)部件
全球*SMC
電極板
特殊處理的電極板結(jié)構(gòu),確保放電均勻,清洗效果
腔體:
軍工級(jí)的高真空密封腔體
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真空等離子清洗機(jī)
型號(hào):SGR-1300
:GRM
產(chǎn)品簡(jiǎn)述
1、等離子清洗機(jī)的結(jié)構(gòu)主要分為三個(gè)大的部分組成,分別是控制單元、真空腔體以及真空泵。
(A)控制單元
控制單元液晶觸摸屏控制方式。 而控制單元又分為兩個(gè)大的部分:
1)電源部分:主要電源頻率是13.56MHz、13.56MHz 是需要電源匹配器的
2)系統(tǒng)控制單元是液晶觸摸屏控制
(B)真空腔體
真空腔體材質(zhì):高強(qiáng)度鋁合金腔體
(C)真空泵
產(chǎn)品特點(diǎn)
處理溫度低:
處理溫度可以低至50°C以下,低的處理溫度可以確保對(duì)樣品表面不造成熱影響。
處理全程無(wú)污染
等離子清洗機(jī)本身是很環(huán)保的設(shè)備,無(wú)產(chǎn)生任何污染,處理過(guò)程也無(wú)產(chǎn)生任何污染。可以搭配原有生產(chǎn)流水線,實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)在線生產(chǎn),節(jié)約人力成本。
處理效果穩(wěn)定:
等離子清洗的處理效果非常均勻穩(wěn)定,常規(guī)樣品處理后較長(zhǎng)時(shí)間內(nèi)保持效果良好。
可以處理各種形狀的樣品:
對(duì)于復(fù)雜形狀的樣品等離子清洗都能找到合適的解決方案。真空等離子清洗更可實(shí)現(xiàn)對(duì)固體樣品內(nèi)部位置進(jìn)行清洗。
性能優(yōu)勢(shì)
德國(guó)電路技術(shù):
采用德國(guó)高壓激勵(lì)電源電路技術(shù),產(chǎn)生高密度等離子體,確保出眾的清洗效果
全面安全防護(hù):
溫度過(guò)高,過(guò)載,氣壓失常,短路斷路,誤操作,等全面的報(bào)警保護(hù)功能。
軍工級(jí)密封腔體:
軍工級(jí)的高真空度密封腔體材質(zhì)及制造工藝
靈活的氣體配方選擇:
可選擇兩路、三路、四路氣體配方方案,滿(mǎn)足不同工藝要求。
產(chǎn)品部件:
全部部件采用國(guó)內(nèi)外*部件,運(yùn)行穩(wěn)定壽命更長(zhǎng)
低溫清洗:
滿(mǎn)足不同場(chǎng)合溫度要求,不對(duì)清洗產(chǎn)品造成溫度影響。
環(huán)保簡(jiǎn)易:
極低的運(yùn)行成本,操作簡(jiǎn)單,過(guò)程無(wú)化學(xué)污染物排放,符合環(huán)保規(guī)范
等離子清洗的作用
等離子清洗的作用原理主要是:
(A)對(duì)材料表面的刻蝕作用--物理作用 等離子體中的大量離子、激發(fā)態(tài)分子、自由基等多種活性粒子,作用到固體樣品表面,不但清除了表面原有的污染物和雜質(zhì),而且會(huì)產(chǎn)生刻蝕作用,將樣品表面變粗糙,形成許多微細(xì)坑洼,增大了樣品的比表面。提高固體表面的潤(rùn)濕性能。
(B)激活鍵能,交聯(lián)作用
等離子體中的粒子能量在0~20eV,而聚合物中大部分的鍵能在0~10eV,因此等離子體作用到固體表面后,可以將固體表面的原有的化學(xué)鍵產(chǎn)生斷裂,等離子體中的自由基不這些鍵 形成網(wǎng)狀的交聯(lián)結(jié)構(gòu),大大地激活了表面活性。
(C)形成新的官能團(tuán)--化學(xué)作用 如果放電氣體中引入反應(yīng)性氣體,那么在活化的材料表面會(huì)収生復(fù)雜的化學(xué)反應(yīng),引入新的官能團(tuán),如烴基、氨基、羧基等,這些官能團(tuán)都是活性基團(tuán),能明顯提高材料表面活性。
參數(shù)指標(biāo)
整機(jī)規(guī)格
約1150×1350×1850(長(zhǎng)×寬×高)mm
整機(jī)重量
約400 Kg
鋁合金清洗腔體規(guī)格
780×400×475(長(zhǎng)×寬×高)mm
鋁合金清洗腔體有效積
130L
輸入電源
380V(三相)/50 Hz
整機(jī)輸入功率(含真空泵)
2500 W
射頻輸出(連續(xù)可調(diào))
0~600 W,配置真空電容自動(dòng)匹配器,輸出方式是恒功率模式,電源本身輸出功率是實(shí)際功率
射頻頻率
13.56 MHz
清洗時(shí)間定時(shí)器范圍
0~99.99 min
真空泵
德國(guó)技術(shù),雙極旋片真空泵,抽速可達(dá)60m3/h
極限真空度
工作真空度≦30Pa
真空度測(cè)量及量程
1.0×105~1.0×10-1 Pa進(jìn)口電子真空計(jì)
氣體流量計(jì)及量程
國(guó)內(nèi)*,量程0-300SCCM
進(jìn)氣閥
全自動(dòng)電子擋板閥
玻璃觀察窗
觀察清洗艙內(nèi)輝光狀態(tài)
常用工作氣體
氧氣氬氣氮?dú)饣蚧旌蠚怏w可選
氣路
的氣路分布結(jié)構(gòu),確保氣體分布均勻
PLC
德國(guó)西門(mén)子PLC,全自動(dòng)程序控制
觸摸屏
威綸通觸摸屏,人性化界面,極易操作
全面安全防護(hù)
溫度安全防護(hù)功能,過(guò)載防護(hù)功能,短路斷路報(bào)警防護(hù)功能,各種 誤操作保護(hù)功能
電氣部件
全采用施耐德
氣壓調(diào)節(jié)部件
全球*SMC
電極板
特殊處理的電極板結(jié)構(gòu),確保放電均勻,清洗效果
腔體:
軍工級(jí)的高真空密封腔體