FS4001系列小氣體質(zhì)量流量傳感器是專門為各類小流量氣體的測量和過程控制而設(shè)計的。這一系列傳感器均采用本公司研發(fā)的微機電系統(tǒng)（MEMS）流量傳感芯片來制作，適用于各類清潔氣體。的封裝技術(shù)使之可用于各類管徑，成本低、易安裝、不需要溫度壓力補償，可替代容積式或壓差式的傳統(tǒng)流量傳感器。
產(chǎn)品特點：
  - 傳感器靈敏度高,有極小的始動流量
  - 傳感器芯片采用熱質(zhì)量流量計量,無需溫度壓力補償,保證了傳
  - 感器的高精度計量
  - 在單個芯片上實現(xiàn)了多傳感器集成,使傳感器的量程比大大提高
  - 傳感器的零點穩(wěn)定度高
  - 全量程高穩(wěn)定性
  - 全量程高度和優(yōu)良的重復(fù)性
  - 低功耗
  - 低壓損
  - 響應(yīng)時間快
主要參數(shù)：

性能參數(shù)	FS4001		單位
通 徑	1.0	1.8	mm
大流量	30, 100, 200	500, 1000	SLPM
量程比	21321321320:1
精 度	±（1.5+0.2FS）		%
重復(fù)性	0.25		%讀數(shù)
零點輸出飄移	±30		mV
輸出飄移	±0.12		%/oC
響應(yīng)時間	4, 8, 16, 33 , 65 , 131		mses
工作電源	8~18Vdc,50mA
輸出方式	線性，RS232/模擬電壓0.5~4.5Vdc
大流量壓損	350	300	pa
大工作壓力	0.5		MPa
工作溫度	-10 ~ +55		oC
存儲溫度	-20 ~ +65		oC
工作濕度	<95%RH（無結(jié)冰、無凝露）
機械接口	可拆式軟管接頭
校準方式	空氣（或其他氣體），20oC，101.325kPa
重量	15		g

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