日立2011年新推出了SU9000高分辨冷場發(fā)射掃描電鏡，達(dá)到掃描電鏡世界*二次電子分辨率0.4nm和STEM分辨率0.34nm。日立SU9000采取了全新改進(jìn)的真空系統(tǒng)和電子光學(xué)系統(tǒng)，不僅分辨率性能明顯提升，而且作為一款冷場發(fā)射掃描電鏡甚至不需要傳統(tǒng)意義上的Flashing操作，可以高效率的快速獲取樣品高分辨掃描電鏡圖像。
特點(diǎn)：
1. *電子光學(xué)系統(tǒng)設(shè)計(jì)達(dá)到掃描電鏡世界*分辨率：二次電子0.4nm（30KV），STEM 0.34nm（30KV）。
2. Hitachi設(shè)計(jì)的E×B系統(tǒng)，可以自由控制SE和BSE檢測信號(hào)。
3. 全新真空技術(shù)設(shè)計(jì)使得SU9000冷場發(fā)射電子束具有穩(wěn)定和高亮度特點(diǎn)。
4. 全新物鏡設(shè)計(jì)顯著提高低加速電壓條件下的圖像分辨率。
5. STEM的明場像能夠調(diào)整信號(hào)檢測角度，明場像、暗場像和二次電子圖像可以同時(shí)顯示并拍攝照片。
6. 與FIB兼容的側(cè)插樣品桿提高更換樣品效率和高倍率圖像觀察效率。