一種小型換熱器，能夠?qū)?50SLM N2 加熱至 200°C。

長(zhǎng)處

• 設(shè)計(jì)緊湊，表面間距為 158 mm×寬 80 mm×高 80 mm
• 流量高達(dá) 50 SLM
• *工作溫度：200°C
• 可以加熱不會(huì)腐蝕氣體填充材料 （SUS316L） 的氣體。
• 也可用于真空和加壓

使用示例

引入減排設(shè)備前的稀釋 N2 加熱

當(dāng)反應(yīng)氣體粘附在管道上并在被送至排阻裝置之前被堵塞時(shí)，半導(dǎo)體制造設(shè)備和 FPD 制造設(shè)備的排氣管會(huì)帶來問題。 因此，通常用熱的 N 2 稀釋它，但僅通過從管道外部用帶式加熱器加熱它是不可能的。 緊湊型熱交換器 （HX-0050A） 可充分加熱流體，以*限度地減少堵塞。

規(guī)格表