帶壓電陶瓷促動器的小型非載流式汽化器。

壓電陶瓷致動器控制閥能夠進行微流量控制和快速響應，控制汽化室附近的液體流速。

流量受控的液體擴散到網(wǎng)狀過濾器中，并在汽化室中加熱，即使在微小的流速下也能實現(xiàn)穩(wěn)定的汽化

VU-3100

長處

使用示例

TEOS 的非載運氣化

基于高溫 MFC 的非載流子汽化具有汽化體積小的缺點。 VU-3100 是 LINTEC 獨有的非載流結構，盡管體積小，但能夠提供 TEOS 的非載流子汽化：5 g/min （538 SCCM）。

規(guī)格表

*溫度 所需的壓差 * TEOS 汽化流速 密封
150°C 50~300kPa 5 克/分鐘 金