價格
電議
型號
OTFC-1100
品牌
0ptorun
所在地
暫無
更新時間
2024-08-22 15:42:42
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| 型號 | OTFC-1100CBI/DBI |
| 真空室 | SUS304，φ1100mm×1520mm（高） |
| 基底圓頂 | φ950mm |
| 基板圓頂轉(zhuǎn)速 | 10 rpm 至 50 rpm（可變） |
| 光學膜厚控制系統(tǒng) |
HOM2-R-VIS350A 光學監(jiān)視器 波長范圍：350nm 至 1100nm 反射/透射 |
| 晶體膜厚儀 | XTC/3+6點旋轉(zhuǎn)傳感器 |
| 蒸發(fā)源 | 2支電子槍 |
| 離子源 | 17 cm 射頻離子源 |
| 排氣系統(tǒng) |
arabiki 泵 + 2 個擴散泵 + 2 個 Polycold 或低溫泵 + 低溫冷阱 |
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OTFC-1100