OLS4500掃描探針顯微鏡-LEXT OLS4500探針掃描顯微鏡

LEXT OLS4500是一款集成了激光顯微鏡和探針掃描顯微鏡功能于一體的納米檢測顯微鏡，可以實現(xiàn)從50倍到高100萬倍的大范圍的觀察和測量。

OLS4500掃描探針顯微鏡-LEXT OLS4500探針掃描顯微鏡

實現(xiàn)納米級觀測的顯微鏡。不會丟失鎖定的目標。

電動物鏡轉(zhuǎn)換器切換倍率和觀察方法

配有涵蓋了低倍觀察到高倍觀察的4種物鏡，并在電動物鏡轉(zhuǎn)換器上裝配了SPM單元?？梢詿o縫切換倍率和觀察方法，不會丟失觀察對象。此外，該款顯微鏡可以進行納米級觀測。

涵蓋了低倍到高倍觀察，并配有多種觀察方法可以迅速發(fā)現(xiàn)觀察對象。

縮短從放置樣品到獲取影像的工作時間。

放置好樣品后，所有的操作都在1臺裝置上完成?？梢匝杆?，正確的把觀察對象移到SPM顯微鏡下面，所以只要掃描1次就能獲取所需的SPM影像。

一體機的機型，所以無需重新放置樣品只要在1臺裝置上切換倍率、觀察方法就能夠靈活應(yīng)對新樣品。 

OLS4500是把光學(xué)顯微鏡、激光顯微鏡、探針顯微鏡融于一體的一體機，所以無需重新放置樣品，即可自由切換3種顯微鏡進行觀察和評價。這3種顯微鏡各自持有優(yōu)異的性能，所以能夠高效輸出佳結(jié)果。

OLS4500實現(xiàn)了無縫觀察和測量

【發(fā)現(xiàn)】可以迅速發(fā)現(xiàn)觀察對象

使用光學(xué)顯微鏡的多種觀察方法， 迅速找到觀察對象

OLS4500采用了白色LED光源， 可以觀察到顏色逼真的高分辨率彩色影像。它裝有4種物鏡， 涵蓋了低倍到高倍的大范圍觀察。OLS4500充分發(fā)揮了光學(xué)觀察的特長， 除了常使用的明視場觀察（BF）以外， 還可以使用對微小的凹凸添加明暗對比， 達到視覺立體效果的微分干涉觀察（DIC）， 以及用顏色表現(xiàn)樣品偏光性的簡易偏振光觀察。此外， OLS4500上還配有HDR功能（高動態(tài)范圍功能）， 該功能使用不同的曝光時間拍攝多張影像后進行合成， 來顯示亮度平衡更好、強調(diào)了紋理的影像。在OLS4500上您可以使用多種觀察方法迅速找到觀察對象。

BF 明視場
常使用的觀察方法。在觀察中真實再現(xiàn)樣品的 
顏色。適用于觀察有明暗對比的樣品。

DIC 微分干涉
對于在明視場觀察中看不到的樣品的微小高低差， 
添加明暗對比使之變?yōu)榱Ⅲw可視。適用于觀察金 
相組織、硬盤和晶圓拋光表面之類鏡面上的傷痕 
或異物等。

簡易偏振光
照射偏振光（有著特定振動方向的光線）， 使樣 
品的偏光性變?yōu)槿庋劭梢?。適用于觀察金相組織、礦物、半導(dǎo)體材料等。

HDR 高動態(tài)范圍
使用不同曝光時間拍攝多張影像并進行影像合成， 
可以觀察平衡度較好的明亮部分和陰暗部分。此 
外，還可以強調(diào)紋理（表面狀態(tài)），進行更精細的 
觀察。

使用激光顯微鏡，可以觀察到光學(xué)顯微鏡中難以觀察到的樣品影像

裝配了激光掃描顯微鏡，靈活應(yīng)對多種樣品

輕松檢測85°尖銳角

采用了有著高N.A. 的物鏡和光學(xué)系統(tǒng)（能大限度發(fā)揮405 nm 激光性能），LEXT OLS4500 可以地測量一直以來無法測量的有尖銳角的樣品。

LEXT 物鏡

有尖銳角的樣品（剃刀）

高度分辨率10 nm，輕松測量微小輪廓

由于采用405 nm的短波長激光和更高數(shù)值孔徑的物鏡， OLS4500達到了0.12 μm的平面分辨率。因此， 可以對樣品的表面進行亞微米的測量。結(jié)合高精度的光柵讀取能力和奧林巴斯獨有的亮度檢測技術(shù)， OLS4500可以分辨出亞微米到數(shù)百微米范圍內(nèi)的高度差。此外， 激光顯微鏡測量還保證了測量儀器的兩大指標——“正確性”（測量值與真正值的接近程度）和“重復(fù)性”（多次測量值的偏差程度）的性能。

0.12μm行間距

高度差標準類型B, PTB-5, Institut für Mikroelektronik, Germany, 6 nm高度測量中的檢測

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主機 規(guī)格

*該功能為選項功能。

物鏡 規(guī)格

微懸臂 規(guī)格

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