價格
電議
型號
EVG510HE
品牌
EVG
所在地
暫無
更新時間
2022-02-11 15:38:07
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納米壓印設(shè)備之熱壓印:EVG510HE
一、 簡介
EVG公司成立于1980年,公司部和制造廠位于奧地利,在美國、日本和臺灣設(shè)有分公司,并在其他各地設(shè)有銷售代理及售后服務(wù)部,產(chǎn)品和服務(wù)遍及世界各地。
EVG公司是一家致力于半導(dǎo)體制造設(shè)備的全球供應(yīng)商,其豐富的產(chǎn)品系列包括:涂膠和噴膠/顯影機/熱板/冷板、掩模版光刻/鍵合對準系統(tǒng)、基片熱壓鍵合/低溫等離子鍵合系統(tǒng)、基片清洗機、基片檢測系統(tǒng)、SOI 基片鍵合系統(tǒng)、基片臨時鍵合/分離系統(tǒng)、納米壓印系統(tǒng)。
目前已有數(shù)千臺設(shè)備安裝在世界各地,被廣泛地應(yīng)用于MEMS微機電系統(tǒng)/微流體器件,SOI基片制造,3D封裝,納米壓印,化合物半導(dǎo)體器件和功率器件等領(lǐng)域。
EVG是世界上為數(shù)不多的可以商業(yè)化納米壓印設(shè)備的好的公司,可為客戶提供完整的納米壓印方案,包括熱壓印、紫外壓印、微接觸印刷。EVG公司以其的極其優(yōu)異的對準技術(shù)和好的的熱壓技術(shù)為納米壓印的實施打下了堅實的基礎(chǔ)。
EVG510HE是一款半自動的熱壓印設(shè)備,用于硬模壓印和納米印刷。該熱壓印系統(tǒng)配備了一個通用的熱壓腔室,具備高真空和高接觸壓力能力,可以處理用于熱壓印的所有聚合物材料。EVG510HE可以實現(xiàn)長寬比的熱壓印和多重脫模工藝,為客戶提供高質(zhì)量的圖形轉(zhuǎn)移和納米級分辨率。
二、應(yīng)用范圍
納米壓印技術(shù)主要應(yīng)用于如下方面:
LEDS 制作,LED PSS納米壓印工藝,LED納米透鏡陣列;微流體學(xué);芯片實驗室;抗反射層; 納米壓印光柵; 蓮花效應(yīng);光子帶隙;光學(xué)及通訊:光晶體,激光器件;生物技術(shù)解決方案:醫(yī)藥分析,血液分析,細胞生長。
二、 主要特點
u 用于聚合物襯底和旋涂樹脂的熱壓?。?
u 自動化熱壓印程序;
u EVG的單獨對準技術(shù)用于壓印和印刷前對準;
u 全程軟件控制工藝流程的運行;
u 外置熱壓脫模和冷卻臺;
u 紫外納米壓印可選
四、技術(shù)參數(shù)
u 印章/襯底尺寸:大對角線長度150mm;
u 接觸壓力:大10KN;
u 堆垛厚度:大15mm;